無塵室(又叫潔淨室)是指一個具有低污染源之空間 , 透過將此密閉空間內空氣中的灰塵 , 懸浮微粒 , 有毒的化學揮發性氣體...等污染源排出,進而得到一個相對潔淨的環境 .
無塵室被多方地應用在對環境污染隔外敏感的產業 , 例如半導體生產 , 精密機械 , 生化技術 , 醫院手術室 , 製藥 , 無菌食品加工製造業...等 , 其中以半導體業對室內之溫濕度 , 潔淨度要求特別嚴格 , 必須控制在某一個特定範圍內才不會對製程造成影響 .
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